АВТОМАТИЗАЦИЯ ПРОЦЕССА КОНТРОЛЯ КЕРАМИЧЕСКИХ ПОДЛОЖЕК

Жук, С.С.; Сидорович, Е.С.; Глеч, Л.А.

АВТОМАТИЗАЦИЯ ПРОЦЕССА КОНТРОЛЯ КЕРАМИЧЕСКИХ ПОДЛОЖЕК

Глеч, Л.А.; Жук, С.С.; Сидорович, Е.С.

URI: http://hdl.handle.net/123456789/1496

Дата: 2001

Аннотации:

Рассматривается возможность уменьшения доли брака на заключительных стадиях изготовления интегральных микросхем за счет автоматизации технологического контроля керамических подложек.

Показать полную информацию