ПРИМЕНЕНИЕ МНОГОКРИТЕРИАЛЬНЫХ МОДЕЛЕЙ В ЗАДАЧАХ ОПЕРАТИВНОГО УПРАВЛЕНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИМИ ПРОЦЕССАМИ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ

Abstract

Выполнена постановка задачи параметрической коррекции технологических процессов при управлении многономенклатурным производством изделий микроэлектроники на основе многокритериальной модели. Предложен метод решения поставленной задачи и на основании проведенных вычислительных экспериментов обсуждаются полученные результаты.