Аннотации:
Предложен метод измерения эффективной диэлектрической проницаемости,
основанный на анализе частотно-модулированного сигнала. Данный метод
позволяет полностью автоматизировать процесс измерений и определять
эффективную диэлектрическую проницаемость с погрешностью достаточной для
проектирования микроволновых устройств, а также для контроля качества
изготовления подложек.