ОПТИМИЗАЦИЯ ПРОЦЕССОВ НАПЫЛЕНИЯ МЕДИ И ХРОМА МЕТОДОМ ТЕРМИЧЕСКОГО ИСПАРЕНИЯ В ВАКУУМЕ

С.М. Горбатюк, профессор, д-р техн. наук, И.Г. Морозова, доцент, канд. техн. наук, А.Н. Пашков, аспирант Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС",

Главная
→
Вестник СевГТУ. Машиноприборостроение и транспорт
→
2014 (Выпуск 150)
→
Просмотр элемента

ОПТИМИЗАЦИЯ ПРОЦЕССОВ НАПЫЛЕНИЯ МЕДИ И ХРОМА МЕТОДОМ ТЕРМИЧЕСКОГО ИСПАРЕНИЯ В ВАКУУМЕ

С.М. Горбатюк, профессор, д-р техн. наук, И.Г. Морозова, доцент, канд. техн. наук, А.Н. Пашков, аспирант Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС",

URI: http://lib.sevsu.ru/xmlui/handle/123456789/10189

Дата: 2014

Аннотации:

Работа посвящена вопросам, связанным с нанесением пленок меди и хрома на диэлектрические подложки методом термического испарения в вакууме из резистивного испарителя на установке УВН-71П-3.

Показать полную информацию