ИНФОРМАЦИОННОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОГО УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССОМ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ

Скатков, А.В., профессор, д-р техн. наук, Севастопольский национальный технический университет; Балакирева, И.А., доцент, канд. техн. наук, Севастопольский национальный технический университет

Главная
→
Вестник СевГТУ. Информатика, электроника, связь
→
2008 (Выпуск 93)
→
Просмотр элемента

ИНФОРМАЦИОННОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОГО УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССОМ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ

Балакирева, И.А., доцент, канд. техн. наук, Севастопольский национальный технический университет; Скатков, А.В., профессор, д-р техн. наук, Севастопольский национальный технический университет

URI: http://hdl.handle.net/123456789/113

Дата: 2008

Аннотации:

Рассматривается подход к разработке информационного обеспечения (ИО) интеллектуальной системы управления многономенклатурными технологическими процессами микроэлектроники основанной на применении экспертного регулятора. Приводится структура информационного обеспечения на примере управления режимами настройки технологического процесса магнетронного напыления резистивных сплавов.