ИНФОРМАЦИОННОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОГО УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССОМ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ

Скатков, А.В., профессор, д-р техн. наук, Севастопольский национальный технический университет; Балакирева, И.А., доцент, канд. техн. наук, Севастопольский национальный технический университет

Главная
→
Вестник СевГТУ. Информатика, электроника, связь
→
2008 (Выпуск 93)
→
Просмотр элемента

dc.contributor.author	Балакирева, И.А., доцент, канд. техн. наук, Севастопольский национальный технический университет
dc.contributor.author	Скатков, А.В., профессор, д-р техн. наук, Севастопольский национальный технический университет
dc.date.accessioned	2009-07-20T07:51:41Z
dc.date.available	2009-07-20T07:51:41Z
dc.date.issued	2008
dc.identifier.citation	Вестник СевГТУ.- Вып.91.- С.28-33	en
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/123456789/113
dc.description	Микроэлектроника. Компьютерные системы	en
dc.description.abstract	Рассматривается подход к разработке информационного обеспечения (ИО) интеллектуальной системы управления многономенклатурными технологическими процессами микроэлектроники основанной на применении экспертного регулятора. Приводится структура информационного обеспечения на примере управления режимами настройки технологического процесса магнетронного напыления резистивных сплавов.	en
dc.subject	АСУ	en
dc.subject	экспертный регулятор	en
dc.subject	интеллектульные системы	en
dc.subject	информационное обеспечение	en
dc.title	ИНФОРМАЦИОННОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОГО УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССОМ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ	en
dc.type	Book chapter	en