ОПТИМИЗАЦИЯ МНОГОНОМЕНКЛАТУРНЫХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ НА ОСНОВЕ ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОГО РЕГУЛЯТОРА

Скатков, А.В., д-р техн.наук, проф., Севастопольский национальный технический университет; Балакирева, И.А., Севастопольский национальный технический университет

ОПТИМИЗАЦИЯ МНОГОНОМЕНКЛАТУРНЫХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ НА ОСНОВЕ ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОГО РЕГУЛЯТОРА

Балакирева, И.А., Севастопольский национальный технический университет; Скатков, А.В., д-р техн.наук, проф., Севастопольский национальный технический университет

URI: http://hdl.handle.net/123456789/1617

Дата: 2005

Аннотации:

Рассматривается подход к построению интеллектуальной системы управления многономенклатурными технологическими процессами микроэлектроники, основанной на применении экспертного регулятора. Приводится структура экспертного регулятора на примере управления режимами настройки технологического процесса магнетронного напыления резистивных сплавов.

Показать полную информацию