ОПТИМИЗАЦИЯ МНОГОНОМЕНКЛАТУРНЫХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ НА ОСНОВЕ ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОГО РЕГУЛЯТОРА

Скатков, А.В., д-р техн.наук, проф., Севастопольский национальный технический университет; Балакирева, И.А., Севастопольский национальный технический университет

dc.contributor.author	Балакирева, И.А., Севастопольский национальный технический университет
dc.contributor.author	Скатков, А.В., д-р техн.наук, проф., Севастопольский национальный технический университет
dc.date.accessioned	2010-06-30T09:19:14Z
dc.date.available	2010-06-30T09:19:14Z
dc.date.issued	2005
dc.identifier.citation	Оптимизация производственных процессов.-Севастополь:Изд-во СевНТУ, 2005.-Выпуск 8.- С.116-122	en_US, ru, uk
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/123456789/1617
dc.description.abstract	Рассматривается подход к построению интеллектуальной системы управления многономенклатурными технологическими процессами микроэлектроники, основанной на применении экспертного регулятора. Приводится структура экспертного регулятора на примере управления режимами настройки технологического процесса магнетронного напыления резистивных сплавов.	en_US, ru, uk
dc.publisher	Севастопольский национальный технический университет	en_US, ru, uk
dc.title	ОПТИМИЗАЦИЯ МНОГОНОМЕНКЛАТУРНЫХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ НА ОСНОВЕ ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОГО РЕГУЛЯТОРА	en_US, ru, uk